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m.lbxysyl.com |02. 07. 2021

中國の科學者、磁気チップの高精度検査にブレイクスルー

タグ: ナノ磁性薄膜

 

 

北京航空航天大學で24日、厚さ原子5個分のナノ磁性薄膜に「100年」と記す集積回路學院の科學研究者。撮影?鞠煥宗

 

   「100年、中國『芯』」。中國共産黨創立100周年を祝賀し、北京航空航天大學の科學研究者は原子5個分の厚さのナノ磁性薄膜に上述の文字を記した。この厚さは一般的なプリント用紙の10萬分の1に相當する。新華社が伝えた。

 

    磁気チップを生産する過程で、ナノ磁性薄膜を均等にウェハー(シリコン半導體集積回路を作るための基板)に敷く必要がある。すべてのウェハーを完全に平らにするのはどれほど難しいのだろうか。北京航空航天大學集積回路學院工法?裝備學部の教員である張學瑩氏は、「北京市海淀區(面積は431平方キロメートル)の地上に均等に米粒を5層敷き、そして完全に平らにしなければならないようなものだ。そのため薄膜の平坦性の検査が極めて重要だ」と述べた。

 

   張氏によると、科學研究者は検査裝置を使い、微小の磁性針を使い薄膜に文字を記す。文字の色のコントラスト比が一致し、筆跡がはっきりしていれば、薄膜の均等性が高いことが分かる。平坦性の検査完了後、ナノ薄膜を部品にし、パッケージングしチップにする。

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