同検査裝置は、北京航空航天大學集積回路學院の科學研究チームが開発した、ウェハー級磁気光學カー効果検査裝置だ。

同學院工法?裝備學部の王新河學部長は、「磁気チップは信頼性の高い情報保存モジュール、高感度の磁気信號センサーモジュールとして、航空機や衛星の制御システム、及び攜帯電話の電子コンパス、自動車の自動運転などの分野に応用できる。その一方で、磁気チップの生産プロセスにおける磁性薄膜検査というキーテクノロジーは、中國の長期間にわたりネックとなる技術だった」と述べた。

「海外の同類裝置と比べると、この裝置は検査の精度と速度の面で技術革新を行っており、獨自の革新とブレイクスルーを実現している」と王氏。

同裝置は現在すでに科學研究分野で応用されており、そして今年10月に実用化される見通しだ。